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(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來(lái)滿足特定工藝要

求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。
　　
(2)前級(jí)泵：用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)

的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。
　　
(3)粗抽泵：從大氣壓下開(kāi)始抽氣，上海正奧泵業(yè)制造有限公司

并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開(kāi)始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)

中的滑閥泵，就是粗油泵。
　　
(4)維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時(shí)，不能有效地利用前級(jí)

泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作，此泵叫維持泵。

如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵，就是維持泵。